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                特種氣體

                四氟化碳

                發布時間: 2017-05-22 22:21 

                  產品屬性
                  
                  氣體名稱:四氟化碳,純度:99~99.999,規格容器:40/4/8/10L鋼瓶、鋁合金瓶
                  
                  充裝量: 30KG ,鋼瓶閥門:QF-2:工作壓力MPa
                  
                  物理特性:
                  
                  在常溫 下 , 四氟化碳是無色、無臭、不燃的可壓縮性氣體,揮發性較高,是***穩定的有機化合物之一,在 900 ℃時,不與銅、鎳、鎢、鉬反應,僅在碳弧溫度下 緩慢分解,微溶于水,在25℃及0.1Mpa下其溶解度為0.0015%(重量比),然而與可燃性氣體燃燒時,會分解產生有毒氟化物。
                  
                  應用:
                  
                  四氟化碳是目前微電子工業中用量******的等離子蝕刻氣體 ,其高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合氣, 可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、 控制宇宙火箭姿態、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。

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